双电机驱动、双光栅反馈；
载荷大、精度高；
适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、等高端行业。
GLMT-XY超高精度直线电机平台
下轴配备双直线电机驱动、搭配双光栅闭环反馈；
采用大理石作为基座,稳定性好、强度大、硬度高，在重负荷下保持高精度，抗磁，使用寿命长；
适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、等高端行业。
| 参 数 | GLMT-XY-250*250 | -360*360 |
| 有效行程 mm | 250*250 | 360*360 |
| 光栅分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） | |
| 重复定位精度 μm | ±0.3 | |
| 定位精度 | ±1μm/100mm | ±1.5μm/100mm |
| 平面度 μm | ±2 | ±3 |
| 直线度 μm | 1.5 | 1.5 |
| 电机类型 | 三相无铁芯直线电机 | |
| 上轴电机推力 | 持续220N 峰值440N | |
| 下轴电机推力 | 持续330N*2 峰值660N*2 | |
| 最大速度 m/s | 500mm/s | |
上轴空载加速度 g | 4.5G | |
| 下轴空载加速度 g | 3G | |
| 最小步长 nm | 10nm（搭配nanopwm或者线性驱动器） | |
| 最大负载 kg | 15 | 30 |
