μSCAN系列扫描系统为我司近期推出的高性能一体式系统，整机采用了高刚性的花岗岩作为底座，配合高性能直线电机及伺服平台，主要用于高精度扫描、加工、检测等应用。标准行程参数选择支持快速出货，大大减少了客户自己组合搭配不熟悉导致的组合缺陷及调试不熟悉导致的性能短板。
μSCAN系列主要特征
•XY轴为U1系列高性能直线电机平台组成（迷宫式密封防护效果好没有易损件和粉尘）
•R轴为高精度扁平化DD马达
•Z轴标配U3系列高精度伺服电机平台（可选配NFZ240高性能直线电机平台）
•底座为济南青或印度黑等高性能石材，精度可选0级或00级
•可根据应用要求选配机架及隔振系统
•XY运动系统经过优化，支持快速启停、连续整定应用（10kg负载2mm行程运动加整定＜30ms（运动时间20ms，整定时间5-8ms））*1
| 规格\轴（从下往上） | Y轴 | X轴 | R轴 | Z轴 |
| 标准轴型号 | UILM320-XX | U1LM240-XX | DDR224 | U3SVM210-XX |
| 行程 | 100/200/300/400 | 100/200/300/400 | 360° | 50/100/200/300 |
| 光栅分辨率 | 100nm | 100nm | 1sec | — |
| 重复定位精度 μm | ≤1μm（±0.5） | ≤1μm（±0.5） | ≤1sec | ≤3μm（±1.5） |
最大速度 *2 | 1000mm/s | 1000mm/s | 4rps | 200mm/s |
| 最大负载 kg | 50kg | 30kg | ||
| 电机推力 | 220N/440N（峰值） | 330N/660N（峰值） | 20Nm | — |
| 运动平面度 um | ≤±5μm | ≤±5μm | ≤5μm | ≤±5μm |
