气浮平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,免维护、精度高、速度快等有优异的特点;
此直线平台可以按单轴使用,亦可搭配其他轴,组合成多轴平台机构,
广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体等行业。
ABL250-X系列气浮平台相较于前两种经济型磁力预载气浮台,体积更小,精度更高;
采用气浮导轨+直线电机+光栅尺反馈组合而成;
特点:精度高、速度快、载荷相对较大、直线度和平面度高。
只要气源等级达到,非常适用于无尘室环境中
参 数 | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
光栅分辨率 μm | 5nm(模拟量)可选配其他型号光栅分辨率 | |||||
重复定位精度 nm | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
定位精度 | 2μm/100mm(校准后可小于0.3μm/100mm) | |||||
平面度 μm | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
直线度 μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
最大速度 mm/s | 2m/s | |||||
最大加速度(空载) | 2G | |||||
水平负载 kg | 35kg | |||||
水平负载 kg | 20kg |