采用音圈电机和气浮导轨，无摩擦运动，具备了气浮平台的所有优点，
平台上下移动的平面为水平配置，
刚性优异，精度超高。
采用音圈电机和气浮导轨，无摩擦运动，具备了气浮平台的所有优点，
平台上下移动的平面为水平配置，
刚性优异，精度超高。
| 参 数 | ABVT-Z20 | -Z38 |
| 有效行程 mm | 20 | 38 |
| 光栅分辨率 μm | sin\cos4.88nm（可选其它更高分辨率） | |
| 重复定位精度 nm | ±50 | |
| 定位精度 nm | ±150 | |
| 平面度 μm | 1 | 1.5 |
| 直线度 μm | 0.5 | 0.7 |
| 电机类型 | 音圈电机 | |
| 电机推力 | 持续27N/峰值119N | 持续45N/峰值192N |
| 最大速度 mm/s | 50 | |
| 最小步长nm | 10 （搭配nanopwm或者线性驱动器） | |
| 最大负载 kg | 6kg（采用气动恒力弹簧平衡） | |
