U1LM200为单轴平台，由直线电机+光栅+精密导轨组成
U1LM200为单轴直线运动平台
采用有铁芯直线电机，推力大，载荷高；
光栅反馈，提升平台控制精度；
密闭的平台，增强使用安全性；
应用于：电子加工，半导体加工等行业
| 参 数 | U1LM200-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 | -800 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 |
| 光栅分辨率 nm | 100nm （数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp 模拟量 | ||||||
| 重复定位精度 nm | ≤±0.5μm | ||||||
| 定位精度 | 未校准±4μm/100mm（校准后可小于±1.5μm） | ||||||
| 直线度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
| 平面度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
| 电机推力 | 持续132N/峰值232N | ||||||
| 最大速度 | 2m/s | ||||||
| 最大加速度（空载） | 3G | ||||||
| 移动部分负载 kg | 6.5kg | ||||||
| 水平负载 kg | 40kg | ||||||
| 侧面负载 kg | 20kg | ||||||
