行程

400mm

400mm

300mm

电机类型

无铁芯直线电机

无铁芯直线电机

伺服电机

电机推力

额定146N 峰值500N

额定219N 峰值750N

-

光栅分辨率

100nm

100nm

-

重复定位精度

≤±1um

≤±1um

≤±3um

定位精度

≤±2um

≤±2um

≤±5um

最大速度

≥500mm/s

≥500mm/s

≥100mm/s

最大加速度（负载）

≥1.5G

≥1G

-

直线度

≤±1um

≤±1um

≤±1um

平面度

≤±4um

≤±4um

≤±5um

最大负载

50kg

50kg

30kg

限位类型

软件、光电、机械三种限位

本体材质

航空级铝合金7075-T6

表面处理方式

喷砂黑色阳极氧化

基座材质

济南青or印度黑 00级花岗岩底座

机架

方管焊接式整体机架

隔振器

高弹发泡聚氨酯隔振垫及圆弧面调平机构