采用激光传感器，精度高。有单测头和双测头，并可选配实现自动上下料。
倒置式显微扫描，结构紧凑，体积小巧
可实现一键式操作，自动对焦、自动扫描，提升图像质量
配合激光器工作，实现自动控制，提升焊接精度
针对用户的电机，设计各种适用工装；产品所需的性能参数，系统具有自动采集，分析结果，历史数据存储等功能
涂胶显影设备主要应用在晶圆生产中的前道EUV光刻中，以及后道的封测和LED制造中，在晶圆生产中起到重要作用。
